아주대학교 표면공정연구실에서는 플라즈마를 이용하여 반도체, MEMS (microelectromechanical system), 광소자 등 다양한 소자제조에 사용되는 박막의 식각 (etching) 및 증착 (deposition)
메커니즘과 표면현상 규명, 그리고 생의학 분야에 적용할 수 있는 살균 및 상처치료용 플라즈마
의료기기에 관한 연구를 수행하고 있습니다.