Eco-friendly Etching Process

온실효과 감축을 위한 반도체/디스플레이 제조공정의 PFC 대체 식각공정 개발
식각 메커니즘과 표면현상 규명을 통한 식각속도 각도의존성 확보 및 식각공정 최적화
식각공정 및 관련요소 기술 개발을 통한 식각 데이터베이스 확보

Flexible Electrode-based LED-plasma System for Sterilization and Theraphy

저온 대기압 플라즈마 기술의 생의학 분야 적용
살균 및 상처치료가 가능한 유연전극 기반의 플라즈마 시스템 개발
다양한 형상의 전극 교체가 가능한 FE-DBD 기반 의료용 플라즈마 기기 개발
공정변수와 플라즈마 내부 변수와의 상관관계 규명을 통한 살균 및 상처치료 특성 향상

Multi-cyclic Plasma Etching for the Reduction in the Diameter of Contact Holes with a High Anisotropy and Aspect Ratio

고종횡비 비등방성 컨택홀 식각형상을 구현하는 다중순환 플라즈마 식각기술 개발
다중순환 플라즈마 식각기술을 통한 최소선폭을 감소시킬 수 있는 기술 확보
최소선폭 감소를 통한 DRAM, Flash Memory, Fin-FET, TSV 등의 반도체 소자 집적도 향상

Multi-Directional Slanted Plasma Etching for the Templateless Direct Patterning of 3-dimensional High Aspect Ratio Microfeatures

반도체, 광소자 등 다양한 분야에 적용 가능한 3차원 미세구조물의 Templateless Direct Patterning 기술의 확보
다양한 각도와 고종횡비를 균일하게 갖는 경사구조물의 다방향 경사 플라즈마 식각기술 개발
다방향 경사 플라즈마 식각으로 형성된 고종횡비 경사구조물의 식각 메커니즘 규명 및 식각 프로파일 조절
경사형태 패턴을 지닌 3차원 미세구조물의 Templateless Direct Patterning 시스템 구축
다방향 경사 플라즈마 식각에 적합한 플라즈마 소스의 개발을 통한 플라즈마 이론적 발전